CKD小型流量傳感器注意資料，喜開理超小型直裝過濾器

小型流量傳感器（空氣 N2用） 快速流動 顯示器型/模擬輸出型 FSM Series ●流量范圍： 0.05～0.5、0.1～1、0.5～5、   1～10、2～20、5～50、10～100R/min
流量范圍  /min注1    適用流體     zui高使用壓力  MPa   zui低使用壓力  MPa   耐壓力  MPa      使用環(huán)境溫度·濕度    使用流體溫度 ℃   直線性（顯示·模擬輸出）  壓力特性   溫度特性
 
再現(xiàn)性（重復(fù)精度）
響應(yīng)性 顯示的種類
輸出的種類
電源電壓 消耗電流 導(dǎo)線 保有機能   安裝方向   導(dǎo)入直管部分 保護構(gòu)造 保護回路注4 EMC指令
精 度
使 用 條 件
安 裝
顯示器型規(guī)格注意 設(shè)計·選定時
關(guān)于流量單位 ● 本產(chǎn)品的流量以不受溫度、壓力影響的流量計量。 單位為R/min，這是流量換算成在200C，1個大氣壓 （101kPa）下的體積流量時的顯示。
關(guān)于耐壓 ● 請在規(guī)定的耐壓范圍內(nèi)使用。選定時請注意。
確認吸附等使用的場合 ● 本產(chǎn)品用于確認吸附等時，請根據(jù)使用真空壓力、吸附噴   嘴直徑選定流量范圍。     請參閱33頁附頁“流量理論計算方法”。 ● 本產(chǎn)品用于確認吸附等時，請務(wù)必在吸入側(cè)的安裝空 氣過濾器（過濾度30μm以下），以防吸入異物。（ 使用FSM超小型管線直裝過濾器，詳細請參閱31 頁）。
● 本產(chǎn)品用于確認吸附等時，請考慮大氣的結(jié)露點與本產(chǎn)品 的環(huán)境溫度，請在配管內(nèi)不結(jié)露的條件下使用。 ● 本產(chǎn)品用于確認吸附等時，因吸附噴嘴與本產(chǎn)品之間配管 的容積的大小，響應(yīng)速度有可能減慢。此時，應(yīng)采取縮小 配管容積等對策。 ● 用于吸氣等真空用途時，在快插接頭附近請不要彎曲。在 快插接頭附近增加管道應(yīng)力時，請把快插式環(huán)插入管道 后，再插入快插接頭使用。

項    目
壓縮空氣 FSM-N/P-005 FSM-N/P-010 FSM-N/P-050 FSM-N/P-100 FSM-N/P-200 FSM-N/P-500 FSM-N/P-101
潔凈空氣（JIS B 8392-1.1.2～5.6.2） 、壓縮空氣（JIS B 8392-1.1.2～1.6.2） 注2 、N2氣體注3 0.7 ー0.07 1.0 0～50℃、90％RH以下 0～50（不得結(jié)露） ±5％F.S.以下（0.1MPa、25℃、流量范圍10～100％F.S.） ±5％F.S.以下（ー0.07～0.7MPa、但是0.1MPa基準） ±0.2％F.S.／℃以下（15～35℃、但是 25℃基準）

CKD小型流量傳感器注意資料，喜開理超小型直裝過濾器
50ms以下注5 流量顯示（7字節(jié)3 1/2位  橙色）、運轉(zhuǎn)及開關(guān)輸出顯示（橙色） 開關(guān)輸出2點 （NPN或者PNP開式整流子輸出、50mA以下、電壓降2.4V以下、對應(yīng)PLC?繼電器） 模擬輸出1點 （1～5V電壓輸出、連接負荷阻抗50KΩ以上） DC12/24V（10.8～26.4V） 60mA以下 φ3.7 0.2mm2×5芯 1m 流量顯示、流量顯示峰值同步、開關(guān)輸出、模擬輸出 縱向·橫向安裝自如 不要 IEC規(guī)格 IP40 保護電源反向連接、保護開關(guān)輸出反向連接、保護開關(guān)輸出負荷短路 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8
流量范圍  /min注1  適用流體  zui高使用壓力 MPa  zui低使用壓力 MPa 耐壓力 MPa  使用環(huán)境溫度·濕度  使用流體溫度 ℃  直線性 （模擬輸出）  壓力特性  溫度特性
再現(xiàn)性 （重復(fù)精度）
響應(yīng)性 顯示的種類 輸出的種類 電源電壓 消耗電流 導(dǎo)線 保有機能 安裝方向       導(dǎo)入直管部分 保護構(gòu)造 保護回路注4 EMC指令
精 度
使 用 條 件
安 裝
潔凈空氣（JIS B 8392-1.1.2～5.6.2）、壓縮空氣（JIS B 8392-1.1.2～1.6.2） 注2、N2氣體注3 0.7 ー0.07 1.0 0～50℃、90％RH以下 0～50（不得結(jié)露） ±5％F.S.以下（0.1MPa、25℃、流量范圍10～100％F.S.） ±5％F.S.以下（ー0.07～0.7MPa、但是，0.1MPa基準） ±0.2％F.S.／℃以下（15～35℃、但是，25℃基準）
50ms以下注5 電源顯示（色） 模擬輸出1點（1～5V電壓輸出、連接負荷阻抗50KΩ以上） DC12/24V（10.8～26.4V） 50mA以下 φ3.7 0.2mm2×3芯 1m 模擬輸出 縱向、橫向安裝自如 不要 IEC規(guī)格 IP40 保護電源反向連接 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8
項    目
模擬輸出型 FSM-A-005 FSM-A-010 FSM-A-050 FSM-A-100 FSM-A-200 FSM-A-500 0.05～0分離顯示器規(guī)格（模擬輸出型）
可以連接 模擬輸出型型號 顯示
電源電壓 消耗電流 導(dǎo)線 保有機能 使用環(huán)境溫度·濕度 保護構(gòu)造 EMC指令 g
流量顯示（7字節(jié)3位1／ 2  橙色）、運轉(zhuǎn)及開關(guān)輸出顯示（橙色） 開關(guān)輸出2點 （NPN或者PNP開式整流子輸出、負荷電流50mA以下、電壓降2.4V、對應(yīng)PLC?繼電器） 模擬輸出1點 （1－5V電壓輸出、連接負荷阻抗50KΩ以上） DC12/24V（10.8～26.4V） 50mA以下（僅限顯示器） φ3.7  0.2mm2×5芯（1m） 流量顯示、流量顯示峰值同步、開關(guān)輸出、模擬輸出 0～50℃、85％RH以下（但是，不得凍結(jié)） IEC規(guī)格  IP40 EN50081-2、EN50082-2 約70（含導(dǎo)線1m）
為了確保安全 空壓元件：警告·注意事項 請務(wù)必在使用前閱讀。
危險 設(shè)計·選定時
關(guān)于使用流體 ● 請不要使用易燃流體。
關(guān)于使用環(huán)境 ● 防爆性環(huán)境 請不要在易爆環(huán)境中使用。本產(chǎn)品無防爆構(gòu)造，有可 能引起火災(zāi)。
各機種系列   個別注意事項 小型流量傳感器 FSM系列
警告 設(shè)計·選定時
關(guān)于使用流體 ● 不可作為交易時用的測量器。 因不符合測量法規(guī)，請不要在業(yè)交易中使用。請作為工 業(yè)用傳感器使用。 ● 因不符合測量法規(guī)，請不要在業(yè)交易中使用。請作為工 業(yè)用傳感器使用。 ● 從壓縮機中排放出來的壓縮空氣含有冷凝水（水、酸化 油、異物等），請在傳感器的次側(cè)（）安裝過濾 器、空氣干燥器及精密過濾器。傳感器內(nèi)的網(wǎng)（金屬絲 網(wǎng)）在配管中有整流作用，不是除去異物的過濾器，需要 時請設(shè)置過濾器。
關(guān)于使用環(huán)境 ● 腐蝕性環(huán)境 請不要在亞硫酸氣體等腐蝕性氣體氛圍中使用。 ● 環(huán)境溫度·流體溫度 請在環(huán)境溫度、流體溫度為0～500C的范圍內(nèi)使用。 另外，即使在溫度范圍內(nèi)，請不要在環(huán)境溫度、流體溫度 急劇變化會發(fā)生結(jié)露的環(huán)境中使用。 ● zui高使用壓力 ·規(guī)格流量范圍 在zui高使用壓力以上、規(guī)格流量范圍外使用會引起故障， 請務(wù)必在規(guī)格范圍內(nèi)使用。 ● 防滴環(huán)境   本產(chǎn)品的保護構(gòu)造與IP40相當。請不要在有水分、鹽分、 塵埃及切削的場所或加壓、減壓的環(huán)境中設(shè)置。不可在溫 度急劇變化的場所或者濕度高的環(huán)境中使用，否則會使本 體內(nèi)部結(jié)露而發(fā)生故障。